SS101Orifícios-Nível Distribuição Máquina
Para subenchimento em forma de wafer
O SS101 é um sistema de distribuição de nível de wafer altamente estável e preciso que foi desenvolvido com base nos requisitos do processo Under fill da RDL First WLP.
O equipamento satisfaz as necessidades da indústria de semicondutores, pode ser equipado com um sistema automático de carga e descarga de wafer e pode realizar automaticamente funções como manuseio de wafer,alinhamento.É compatível com os protocolos internacionais de comunicação de semicondutores,e está equipado com uma interface automática de carregamento e descarregamento do robô AMHS para corresponder ao
Requisitos de gestão da informação e tendências da gestão não tripulada.
SS101 Sistema de organização
¢ Loadport & Foup
Alignador
Estação de digitalização de códigos QR
Estação de pré-aquecimento
Estação de dissipação de calor
Estação de trabalho da máquina de distribuição
Modulo de manipulação do robô
Composição do sistema de distribuição a nível de wafer SS101
GS600SW máquina de distribuição a nível de bolacha × 2
PC101 máquina de carregamento e descarregamento de wafers × 1
Áreas de aplicação
RDL Primeiro WLP
Aplicação de CUF
SS101 Fluxo de operação de distribuição a nível de bolacha
Características e Vantagens
Suporta a distribuição de wafers de 8/12 polegadas.
Nível 10 à prova de poeira, que satisfaz os requisitos ambientais das embalagens a nível de wafer.
Proteção contra DSE que satisfaça as normas internacionais IEC e ANSI.
Em todo o processo de rotatividade e operação da bolacha, a temperatura é controlada e corrigida automaticamente para atender aos requisitos do processo CUF, garantindo a segurança do produto.
A monitorização por vídeo de todo o processo facilita a rotatividade do produto, a observação do processo de operação e o rastreamento e análise de problemas
Especificações técnicas
Sistema SS101
GS600SWA * 1,GS600SWB * 1, PC101 Máquina de manuseio de wafer * 1 (EFEM)
Áreas de aplicação
RDL Primeira WLP, CUFAplicação
Nível de limpeza
Limpeza da área de trabalho
Classe 100 (oficina da classe 1000)
Classe 10 (atelier da classe 100)
Áreas de aplicação do produto
Suporte para o tamanho da bolacha
φ200 mm±0 0,5 mm, φ300 mm±0,5 mm
(O modelo padrão suporta apenas wafers de 12 polegadas)
Suporte para a espessura da bolacha
300-2550 μm
Distância máxima de curvatura da wafer
< 5 mm (de acordo com o tipo de Robot Finger)
Peso máximo admissível da wafer
600 g (de acordo com o tipo de Robot Finger)
Formulário de cassete de wafer
8 polegadas Open Cassette, 12 polegadas Foup (modelo padrão suporta 12 polegadas de wafers apenas)
PC101 (EFEM)
Método de carregamento e descarregamento
Portão de carga+Robôs
Precisão do pré-alinhador
Desvio de correcção do centro redondo≤±0,1 mm; Desvio de correcção do ângulo≤±0,2 °
Leitor de wafer
Suporta fontes SEMI (superfícies planas ou côncavas/convexas), fontes não SEMI
Intervalo de temperaturas de pré-aquecimento
Temperatura ambiente ~ 180°C
Método de arrefecimento da wafer
Refrigeração natural ou de ar
Sistema de distribuição de movimento
Mecanismos de transmissão
X/Y: Motor linear Z: Servomotor e módulo de parafuso
Repetitividade
X/Y: ±3μmZ: ±5μm
Precisão de posicionamento
X/Y: ± 10 μm
Velocidade máxima de movimento
X/Y: 1000 mm/s Z: 500 mm/s
Velocidade acelerada máxima
X/Y: 1 g Z: 0,5 g
Sistema de visão
Pixéis da câmara
130 W
Precisão de reconhecimento
± 1 pixel
Faixa de reconhecimento
12 × 16 mm
GS600DD Máquina de distribuição totalmente automática
Para a construção de barragens
A máquina de distribuição totalmente automática GS600DD é um equipamento de distribuição de alta estabilidade e alta precisão que é desenvolvido com base nos requisitos do processo Dam & Fill da FCBGA, etc.O equipamento satisfaz as necessidades da indústria de semicondutores, está equipado com um sistema automático de carregamento e descarregamento, e pode realizar automaticamente as funções de carregamento e descarregamento de revistas, jetting de cola de barragem e jetting de cola de subliminação.É compatível com os protocolos internacionais de comunicação por semicondutores., e corresponde aos requisitos de gestão da informação e às tendências da gestão não tripulada.
Composição do sistema
GS600DD Máquina de distribuição totalmente automática × 1 Máquina automática de carga e descarga de revistas × 1
Fluxo da operação
Carregamento de carregadores -Jetamento de colagem de barragem -Jetamento de colagem de subpreenchimento -Descarga de carregadores
Características e vantagens
Boa absorção de choques com estrutura de estrutura mineral para reduzir eficazmente o impacto causado pela operação de equipamentos de alta velocidade.
Detecção capacitiva e detecção por indução a laser para evitar a perda de produto causada por quantidade insuficiente de cola
Nível de resistência ao pó 10, que satisfaz os requisitos do ambiente de embalagem.
Função de compensação automática da posição de distribuição para garantir a precisão da distribuição
Proteção contra DSE que satisfaça as normas internacionais IEC e ANSI.
Função de detecção da largura da cola para evitar riscos de processo causados por uma má distribuição.
Especificações técnicas
Modelo GS600DD
Composição do sistema
GS600DD * 1, Máquina de carregamento e descarregamento automático * 1
Áreas de aplicação
FCBGA, encapsulamento de ligação de fios
Nível de limpeza
Limpeza da área de trabalho
Classe 100 (atelier da classe 1000) Classe 10 (atelier da classe 100)
Sistema de transmissão
Dimensões
770 × 1650 × 2100 mm
Sistema de transmissão
X/Y:Motor linear Z:Servo motor e módulo de parafuso
Repetitividade (3sigma)
X/Y: ±5 μm Z: ±10 μm
Precisão de posicionamento (3 sigma)
X/Y: ±10 μm Z: ±25 μm
Velocidade máxima de movimento
A partir do momento em que o sistema é instalado, o sistema deve ser equipado com um sistema de transmissão automática.
Velocidade acelerada máxima
X/Y:1.3g Z:0.5 g
Intervalo de distribuição
355 mm × 595 mm
Resolução da grade
1 μ m
Precisão de correspondência visual repetitiva
5 μm
Precisão da posição do adesivo em um único ponto
≤ ± 30 μ m
Método de calibração e compensação da altura do eixo Z
Sensor a laser
Precisão do sensor a laser
± 1 μ m
Espectroscopia do eixo Z.
Assincrono de dupla cabeça
Tipo de seringa aplicável
5cc, 10cc, 30cc, 50cc, 70cc
Precisão do peso da cola
10 mg ± 3%, 5 mg ± 5%
Precisão do módulo de pesagem
220 g/ 0,1 mg
Módulo de visão
Pixel
500 W (2048×2448 dpi)
Lentes
0.2X lente telecêntrica
Vista da câmara
35 × 35 mm
Precisão de um único pixel
17um
Detecção da largura da cola
≥ 170um
A taxa de erro de apreciação
< 2,5%
AOI FAR (taxa de detecção em falta)
0
Método de posicionamento visual
Características de aparência da marca/produto
Capacidade de correção do ângulo da válvula secundária em relação à válvula principal
0-180° (7 × 7 mm peça de trabalho)
0-3° (110 × 110 mm peça de trabalho)
Método de disparo
Disparos de posicionamento/disparos de voo
Instalações
Temperatura ambiente e umidade
25°C ± 5°C, 30 ~ 70%
Impressão W × D × H
770 × 1650 × 2100 mm (sem carga e descarga)
GS600SU Subpreenchimento DisposiçãoEnsaio Máquina
Para o preenchimento da forma
O GS600 SU é um sistema automático de distribuição online de alta velocidade e alta precisão, desenvolvido com base nos requisitos do processo Underfill da FCBGA/FCCSP.
O sistema controla estritamente a temperatura do produto e do adesivo e classifica de forma inteligente a sequência de operações do produto e o tempo de reabastecimento de cola,reduzir a geração de vazios e garantir o rendimento da operaçãoEnquanto isso, é compatível com os protocolos internacionais de comunicação por semicondutores e corresponde aos requisitos de gestão da informação.
■Áreas de aplicação
FCBGA Embalagem CUF Aplicação FCCSP Embalagem CUF Aplicação SiP Embalagem CUF Aplicação
■ Especificações técnicas
Áreas de aplicação
FCBGA, FCCSP, SIP
Processo aplicável
Preenchimento insuficiente do formulário
Nível de limpeza
Limpeza da área de trabalho
Classe 100 (oficina da classe 1000)
Classe 10 (atelier da classe 100)
Transmissão
Mecanismo
Sistema de transmissão
X/Y:Motor linear Z: Servomotor e módulo de parafuso
Repetitividade (3sigma)
X/Y: ±0,003 mm, Z: ±0,005 mm
Precisão de posicionamento (3 sigma)
X/Y: ± 0,010 mm, Z: ± 0,015 mm
Velocidade máxima de movimento
X/Y: 1000 mm/s
Z: 500 mm/s
Velocidade acelerada máxima
X/Y: 1 g, Z: 0,5 g
Resolução da grade
1 μ m
Distância de movimento do eixo Z ((W × D)
3 5 0 mm × 4 7 0 mm
Método de calibração e compensação da altura do eixo Z
Sensor a laser (Sensor a laser)
Precisão do sensor a laser
2 μm
Sistema de distribuição
Precisão do controlo da cola
± 3 % / 1 mg
Repetitividade da posição de ponto único CPK>1.0
± 25 μm
Diâmetro mínimo do bico
30 μm
Min. peso da cola de ponto único
0.001 mg/punto
Viscosidade máxima do fluido
200000cps
Frequência máxima de jato
1000 Hz
Temperatura de aquecimento do corredor/bocal
Temperatura ambiente ~ 200°C
Desvio da temperatura de aquecimento do corredor/bocal
± 2 °C
Especificações aplicáveis da embalagem do adesivo.
5CC/10CC/30CC/50CC/70CC
Intervalo de arrefecimento da seringa
Refrigerado até 15°C abaixo da temperatura ambiente.
Faixa de refrigeração piezo
Refrija até à temperatura da fonte de ar comprimido.
Sistema de trilhos
Número de faixas
2
Número de secções do cinto
Uma peça.
Velocidade máxima de transmissão da via
300 mm/s
Peso máximo da transmissão da linha
3 kg
Espaço livre mínimo das bordas
3 mm
Faixa de regulação da largura da via
60 mm~ 162 mm Ajustável
Método de regulação da largura da via
Manual
Altura da pista
910 mm~960 mm Ajustável
Espessura máxima do substrato/portador aplicável
6 mm
Intervalo de comprimento do substrato/portador aplicável
60 mm-325 mm
Intervalo de pressão de sucção a vácuo
-50~-80Kpa Ajustável
Intervalo de temperatura de aquecimento inferior
Temperatura ambiente ~ 180°C
Desvio da temperatura de aquecimento inferior
≤ ± 1,5 °C
Instalações
Impressão de pegada W × D × H
2380mm*1550mm*2080mm ((Carregamento e descarregamento e exibição incluídos)
2380mm*1200mm*2080mm ((Incluído carregamento e descarregamento, excluído o visor)
Peso
1600 kg
Fornecimento de energia
200~240VAC,47~63HZ (alimentação de adaptação de tensão de fase única)
Corrente elétrica
30A
Potência
6.4 kW
Inalação
(0,5 MPa, 450 L/min) ×2
Aplicação do CUF de embalagem FCBGA
FCCSP Embalagem CUF Aplicação
Aplicação de CUF para embalagens SiP
Módulos especiais de processo
Sistema de jato piezoelétrico especial CUFIsolamento adesivo + controlo de ciclo fechado da temperatura cerâmica piezoelétrica para evitar a instabilidade do sistema causada pela influência da temperatura
Alarme triplo de baixo nívelDetecção capacitiva + detecção magnética + sistema de pesagem para evitar mau funcionamento causado pela falta de cola
Instalação de aquecimento por adsorção a vácuoA diferença de temperatura de toda a superfície do dispositivo é ≤ ± 1,5°C,e a temperatura é monitorizada e compensada em tempo real para evitar mau funcionamento causado pela variação da temperatura do produto durante o funcionamento
Pista de prensagem para baixoO dispositivo de adsorção a vácuo mantém-se sempre imóvel e a pista move-se para cima e para baixo para evitar um mau funcionamento causado pela perda de planície durante o movimento recíproco do dispositivo de adsorção a vácuo.
Sistema de carga e descarga do tipo plataformaA sequência de alimentação é automaticamente classificada e a operação é concluída dentro do limite de tempo do plasmaDesign de interface homem-máquina amigável
Sistema visualFunções de posicionamento e detecçãoInspecção antes da operação para evitar materiais de entrada defeituososInspecção após a operação para evitar defeitos dos lotes
SS200 Cobertura Anexo Sistema
É um sistema de fixação de tampa altamente estável e preciso desenvolvido com base nos requisitos do processo Lid Attach da FCBGA/FCCSP.
Integrando as funções de carga e descarga automática, distribuição, fixação de tampa, Snapcure e inspeção de distribuição e fixação,O sistema pode realizar automaticamente funções incluindo carregamento e descarregamento automáticos de substratos e tampas, revestimento automático de cola AD & Tim, detecção da forma da cola, fixação da tampa e detecção do resultado da fixação, e retenção de pressão da tampa e pré-curagem.É compatível com os protocolos internacionais de comunicação de semicondutores., e atende aos requisitos relevantes das linhas de produção automatizadas.
Composição do sistema de operação totalmente automático
Máquina de carregamento KLM201
Máquina de distribuição GS600SD
Máquina de montagem
Máquina de prensagem a quente MP200
Máquina de descarregamento KUM2 0 1
* As máquinas deste sistema são modulares.
* A sequência ou quantidade da máquina de distribuição, montada
a máquina e a máquina de prensagem a quente podem ser ajustadas de acordo com
Os requisitos da sequência de processos e da relação de eficácia.
Características e Vantagens
Boa absorção de choques com estrutura de estrutura mineral para reduzir eficazmente o impacto causado pela operação de alta velocidade.
Proteção contra DSE que satisfaça as normas internacionais IEC e ANSI.
Função de compensação automática da posição de distribuição para garantir a precisão da distribuição.
Projeto modular de toda a máquina e operação de distribuição que suporta sincronização de válvula dupla com interpolação/sincronização de válvula dupla.
Nível 10 à prova de pó, que satisfaz os requisitos da indústria de embalagens avançadas.
Função de detecção da largura da cola para evitar riscos de processo causados por uma má distribuição.
Função de inspecção correspondente para garantir a qualidade do produto após a conclusão de cada fase do processo.
Sistema de carga de plataforma para suportar a operação contínua de vários carregadores.
SS200 Campos de aplicação
Áreas de aplicação
Aplicação de fixação de tampa FCBGA/FCCSP (incluindo cola AD, cola Tim, fixação de tampa, Snapcure)
Tamanho PKG adequado
5 mm × 5 mm- 110 mm × 110 mm
Barco grande.
L × W ≤ 325 mm × 162 mm
Max, o barco está pronto.
3 kg (incluindo o peso do produto)
Tamanho máximo da revista.
L × largura × H≤ 330 mm × 165 mm × 180 mm
Mx, tampa de bandeja
L × W ≤ 3 1 6 mm × 135 mm
Método de carregamento da tampa
Revista, carregamento de bandeja (padrão); alimentação de tipo correia (opcional); tubo/ bandeja macia (personalizável)
SS200 Instalações públicas
Temperatura Ambiental e Humidade 25°C ± 5°C, 30 ~ 70%
Impressão W × D × H
5870 mm × 1650 mm × 2100 mm
Peso do sistema
5.8T
Fornecimento de energia
200~240VAC,47~63HZ,Fonte de alimentação adaptativa de voltagem de fase única
Corrente elétrica
81A
Potência
18 kW
Inalação
1770 L/min
Modulo de carga e descarga KLM/KUM201
KLM/ KUM201Loader & Un loader
Tamanho
1 2 0 0 mm × 6 1 5 mm × 2 0 14 mm
FM Limpeza e quarentena
Chuveiro de cortina de ar iônico na entrada
Barco Qty.
3 peças
Modo de carga
Tipo de plataforma
Repetitividade (3 sigma)
Z/Y: < 0,05 mm
Velocidade máxima.
Z/Y: 300 mm/s
Velocidade acelerada.
Z/Y: 3000 mm/s2
Proteção dos produtos
1.Em estado normal de funcionamento/falha temporária de alimentação da máquina, o eixo de movimento permanece no lugar para evitar que o produto caia
2. Equipado com luzes de diferentes cores que visualizam o estado da bandeja 3. Capaz de detectar bandeja saliente do barco e, em seguida, parar e alarme 4. Capaz de detectar e alarme para o material de engarrafamento
5. Capaz de detectar e alarmar a posição de funcionamento anormal da bandeja